分子レベルの特殊処理で吸着跡を残さない！

特殊処理で表面改質を行うことにより、吸着パッドへの異物付着と真空パッド成分のワークへの付着を大幅に軽減します。

注意：ワークおよび吸着の使用条件、環境により、効果の程度は変わり効果が得られない場合もありますので、ご注意ください

ガラス基板など、吸着跡を嫌うワークの吸着搬送に最適

様々な形状のパッドに対応

パッド材質がフッ素ゴムおよび導電性フッ素

注1）体積抵抗率は導電性を表すもので、cm3当たりの抵抗値を表す。
注2）当社指定テストピースの測定値です。